3M™ LTHC Beschichtung für WSS

  • 3M ID B00042821

ermöglicht eine saubere Freigabe von Glas/Kleber durch den Einsatz von Laserbestrahlung

als Flüssigkeit schwarz, nach Beschichtung und Trocknung nahezu durchsichtig

Kompatibel mit dem 3M™ Wafer Support System

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Technisches Datenblatt (PDF, 70KB)

Details

Eigenschaften
  • ermöglicht eine saubere Freigabe von Glas/Kleber durch den Einsatz von Laserbestrahlung
  • als Flüssigkeit schwarz, nach Beschichtung und Trocknung nahezu durchsichtig
  • Kompatibel mit dem 3M™ Wafer Support System
  • Angewandt im Rotationsbeschichtungsverfahren

Die 3M™ LTHC Beschichtung ist eine "Light-To-Heat-Conversion (LTHC) Beschichtungsflüssigkeit, das bei der Halbleiterherstellung im Wafer Support-System verwendet wird.

Die 3M™ LTHC Beschichtung basiert auf einer thermoplastischen Harzformulierung.

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